Memori data RAM internal sebesar 128 Byte.

 Register
Sebagai memori sementara di dalam CPU. Beberapa register mempunyai fungsi tertentu, seperti program counter dan code register, yang lain bersifat lebih umum akumulator, B register. Tiap-tiap komputer memiliki panjang kata yang merupakan karakteristik dari CPU. Seperti pada keluarga MCS ’51 ini besarnya ditentukan oleh bus dan memori internal, oleh karenanya mikrokontroller keluarga MCS ’51 ini memiliki kemampuan menyimpan data 8 bit.


 ALU (Arithmatic Logic Unit)
Dari namanya dapat diketahui bahwa ALU mampu menjalankan operasi aritmatika dan logika dengan bilangan-bilangan biner. Dalam keluarga MCS ’51 operasi ALU datanya terbatas pada jumlah bilangan biner 8 bit, tidak sampai pada operasi floating point (angka mengambang).
 Unit Pengendali
Unit pengendali digunakan untuk menyerempakkan kerja yang sangat diperlukan oleh setiap prosessor. Sebuah instruksi di ambil dan di dekode, setelah prosessor mengetahui apa yang dimaksud dengan instruksi, maka unit pengendali akan memberikan signal pada aksi yang dimaksud.
Mikrokontroller AT89S51 memiliki beberapa fasilitas yang dapat dipakai oleh pengguna. Fasilitas yang dimaksud antara lain :
Flash program memori ROM internal sebesar 4 Kbyte. Dengan flash PEROM ini mikrokontroller mampu diprogram dan dihapus hingga 1000 kali.
Memori data RAM internal sebesar 128 Byte.
Kemampuan kerja clock internal dari 0 hingga 24 M Hz.
Terdapat 2 buah timer/counter yang dapat dipakai hingga 16 Bit.
Kemampuan mengalamati memori program dan data maksimum 64 Kbyte eksternal.
Dua buah tingkat prioritas interupsi.
Lima buah interupsi, yaitu 2 buah interupsi eksternal dan 3 buah interupsi internal.
Empat buah I/O masing-masing 8 Bit.